Nieuws
door TechniShow Magazine

ASML geeft inkijk in wereld van lithografie tijdens Precisiebeurs

9 november 2017

Tijdens de Precisiebeurs, op donderdagmiddag 16 november in het NH Conference Centre Koningshof, geeft ASML een bijzondere inkijk in de wereld van lithografie. Tijdens een lezingentrack vertellen vier experts het verhaal achter het Veldhovens hightechbedrijf.

De lezingentrack wordt geopend door Jan van Eijk, Directeur bij MICE Als inleiding op de drie daaropvolgende lezingen welke het verleden, heden en toekomst belichten van ASML, vertelt hij het verhaal over het ontstaan van de eerste (nog bij Philips vervaardigde) machine tot aan de voorlaatste generatie machines. Daarbij gaat Jan in op de omstandigheden die leidden tot de ontwikkeling van de waferstepper en op de werking van de lithografiemachine.

Bij de ontwikkeling van een techniek gaat het in de eerste plaats om het vakmanschap van de ingenieur. Echter, bij het succes van een groot bedrijf spelen vaak ook allerlei niet-technische factoren een belangrijke rol. Techniekjounalist René Raaijmakers, de schrijver van de eerder dit jaar verschenen boeken “De architecten van ASML” en “De Geldmachine”, vertelt over de menselijke beslissingen, de lobby en de politiek achter het succes van ASML.

Jelm Franse, Senior Director Precision Mechanics bij ASML, bespreekt de huidige technologieën met de bijbehorende uitdagingen. Zowel de machines die bij normale atmosferische druk werken als bij de machines onder vacuüm worden hierbij belicht. Van dat laatste type, de EUV machine, verwacht ASML dit jaar twaalf systemen te leveren aan chipfabrikanten en volgend jaar twintig.

Wilbert van Luenen, Senior Director EUV bij ASML, zal tijdens zijn presentatie uitwijden over de nabije toekomst en de periode na de huidige EUV-machines. Hierbij vertelt Wilbert onder andere over de overgang van nanometers naar picometers die zal gaan plaatsvinden, de flinke slag die clean room omgevingen moeten maken en de vragen over hoe u nou precies dat meet, wat u moet weten.